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            品質是生命,服務是宗旨

            Quality is life, service is the tenet

            網站首頁  ◇  產品展示    ◇  CVD化學氣相沉積系統 ◇   CVD石墨烯制備 > LFT1400C 300D602ZLV CVD薄膜材料制備
            薄膜材料制備

            更新時間:  2026-01-16

            產品型號:  LFT1400C 300D602ZLV CVD

            產品報價:  

            所  在  地:  合肥市新站區穎河路22號

            產品特點:  薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境。該設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡便快捷,是各大材料實驗室的理想設備之一。

            (聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝!)
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            產品概述

            一、設備特點:

            薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境。該設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡便快捷,是各大材料實驗室的理想設備之一。

            1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無機材料,不含污物,潔凈,美觀。

            2、采用模糊PID控制精準控制,溫場均勻,燒結成品一致性好。

            3、爐體采用雙層風冷機構,爐子燒到最高溫度時,殼體表面溫度低于60度。

            4、爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節能。

            二、技術參數:

            名稱

            規格

            單溫區真空管式爐CVD系統  

            單溫區真空管式爐

            爐管尺寸

            Φ60×1000mm 更多其他規格剛玉管可選(Φ50/60/80/100mm等)

            主要參數

            最高溫度: 1400℃

            工作溫度: 1300℃

            推薦升溫速率:≤10℃/min

            加熱區長度: 300mm

            額定功率:4KW

            電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

            爐體結構

            雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

            高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節約能源

            爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

            溫控系統

            模糊PID控制和自整定調節功能

            智能化30段可編程控制

            具有超溫及斷偶報警功能

            控溫精度: ±1 ℃

            S型熱電偶

            可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集(需另購)

             

            溫控儀表(可選)

            標配儀表品牌為宇電,可選定其他品牌溫控儀表,如島電等。

            管堵

            多種規格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。

            密封系統

            爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

            如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數顯真空計(需另外訂購)

            備注:本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

            出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

            擴展端口

            如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

            真空度

            雙極旋片機械泵:10^-1Pa

            分子泵機組:10^-3 Pa

            可選配本公司配套高低真空

            二路質量流量控制系統

            MFC-2Z

            電壓

            220VAC  單相  50/60Hz

            針閥材質

            316不銹鋼

            量程

            50sccm、100sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

            工作溫度

            5~45℃

            外型尺寸

            600(L) x 600(W) x 750(H) mm

            電壓

            AC220V/50Hz單相

            功率

            23W

            真空系統

            LVU-10

            殼體尺寸

            600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

            最大承載量

            1000 Lbs

            抽氣速率

            10m³/h

            極限真空度:10-1Pa

            雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

            質保期

            一年保修,終身技術支持。

            特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

            2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

            相關應用

            爐膛內襯可以單獨更換(額外付費)

            可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子

            應用注意事項

            爐管內氣壓不可高于0.02MPa

            由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

            當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

            進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

            石英管的長時間使用溫度<1100℃

            對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


             

             

             

             

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