該系統(tǒng)為 PECVD系統(tǒng)，它包括真空管式爐系統(tǒng)、石英真空室、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、匹配器，溫度范圍寬：100-1100度可調(diào)。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復合薄膜，連續(xù)生長各種薄膜等。

1、迷你開啟式真空管式爐

技術(shù)參數(shù)：

爐管尺寸：Φ50×700mm

加熱元件：電阻絲

加熱區(qū)長度：230mm

恒溫區(qū)長度：100mm

工作溫度：1100℃

最高溫度：1200℃

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度:±1℃

推薦升溫速度：20度/分鐘

最快升溫速度：100度/分鐘

爐門結(jié)構(gòu)：開啟式

工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

額定功率：2KW

同時將電控單元和加熱部分分離，并在加熱部分下端安裝有凸輪連桿驅(qū)動裝置，可實現(xiàn)爐體在加熱情況實現(xiàn)上下?lián)u擺，達到混合物料的功能。

2、射頻電源 PE-100W

信號頻率 13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍 0W-100W

最大反射功率 30W

射頻輸出接口 50 Ω, N-type, female

匹配模式 手動匹配

功率穩(wěn)定度 ≤2W

諧波分量 ≤-50dbc

供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機效率 >=70%

功率因素 >=90%

冷卻方式 強制風冷

3、2路質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)MFC-2Z

設(shè)備特點：

該設(shè)備為一個氣路集成，氣體經(jīng)過減壓閥減壓后，連接到氣體質(zhì)量流量計上，經(jīng)過流量控制后的氣體進入到內(nèi)置混氣罐內(nèi)(可單獨氣體進氣，也可以多路氣體預混合)，再由出氣閥門連接到加熱設(shè)備，該設(shè)備可為實驗數(shù)據(jù)提供原始數(shù)據(jù)記錄，也為實驗條件重復性提供數(shù)字參考。 全進口操作和控制系統(tǒng)，大大提升了設(shè)備的控制性能。

外形尺寸：600x600x650mm

連接頭類型：Φ6雙卡套不銹鋼接頭。

標準量程(N2)：100sccm，200sccm (具體氣體量程 可根據(jù)工藝要求配置，需提前溝通確定)

準確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復精度：±0.2%

響應時間：

氣特性：1～4 Sec

電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

最大壓力：3MPa

接口：Φ6.1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

4、低真空機組

LVU-10是一套低真空機組，其極限真空度為10-1Pa， 內(nèi)部安裝有雙級旋片機械泵DRV-10配套使用，其接口為KF25.并配有真空連接管路一套，電阻真空計ZDR-I和連接管道接頭等。

技術(shù)參數(shù)

移動架 ?殼體尺寸:600mm(L)x600mm(W)x700mm(H)

?帶有4個滑動輪

?最大承重量：1000 lb

電壓/頻率 220V/50-60 Hz

真空泵抽氣速率 ?10m3/h

?極限真空:10-1Pa

?容油量：1.1L

電阻真空計ZDR-I 測量范圍 1.0×105Pa-1.0*10-1pa

控制范圍 5.0×103pa—5×10-1Pa

控制方式 繼電器觸點輸出，負載能力AC220V/3A

測量路數(shù) 1路(可擴展至2路)

DIANYUAN 90-260V/50HZ或220V±10% 50HZ

額定功率 ≤20W

配接規(guī)管 ZJ-52T

顯示方式 LCD數(shù)顯

數(shù)據(jù)電纜長度 2米

面板尺寸 96mm×96mm

波紋管 規(guī)格：KF25*1200mm

擋板閥 高真空專用不銹鋼閥門 連接口：兩個KF25接口